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PTFE和PFA含氟聚合物：颗粒污染和工艺纯度的比较
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- 发布时间：2019-07-24 00:00
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PTFE和PFA含氟聚合物：颗粒污染和工艺纯度的比较
现在先进的半导体正在以10nm及以下的器件几何尺寸制造。在这些尺寸下，芯片的电路非常密集，颗粒污染可能导致芯片故障，这是一个主要问题。
考虑到颗粒污染，世界权威半导体研发机构对两种高纯度含氟聚合物PTFE和PFA进行了一些实验，这些含氟聚合物通常用于半导体制造中的润湿部件。这些实验清楚地表明，PFA是用于在先进半导体制造应用中保持工艺纯度的优异材料。
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