
半导体铜线工艺流程
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- 发布时间:2018-07-13 00:00
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半导体铜线工艺流程
一、 铜线键合工艺
A、铜线工艺对框架的特殊要求-------铜线对框架的的要求主要
有以下几点:
1、 框架表面光滑,镀层良好;
2、 管脚共面性良好,不允许有扭曲、翘曲等不良现象
管脚粗糙和共面性差的框架拉力无法保证且容易出现翘丝和切线
造成的烧球不良,压焊过程中容易断丝及出现tail too
short ;
B、保护气体----安装的时候保证E-torch上表面和right nozzle
的下表面在同一个平面上.才能保证烧球的时候,氧化保护良
好.同时气嘴在可能的情况下尽量靠近劈刀,以
保证气体最大范围的保护
C、劈刀的选用——同金线相比较,铜线选用劈刀差别不是很大,
但还是有一定的差异:
1、铜线劈刀T 太小2nd容易切断,造成拉力不够或不均匀。
2、铜线劈刀CD不能太大,也不能太小,不然容易出现不粘等现象。
3、铜线劈刀H与金线劈刀无太大区别(H比铜丝直径大8µm即可,太小容易从颈部拉断)
4、铜线劈刀CA太小线弧颈部容易拉断,太大易造成线弧不均匀;
5、铜线劈刀FA选用一般要求8度以下(4-8度)
6、铜线劈刀OR选用大同小异
D压焊夹具的选用
铜线产品对压焊夹具的选用要求非常严格,首先夹具制作材料要选用得当,同时夹具表面要光滑,要保证载体和管脚无松动要,否则将直接影响产品键合过程中烧球不良、断线、翘丝等一系列焊线问题。
二、 铜线的特性及要求
切实可行的金焊线替代产品。细铜焊线(铜焊线,机械、电气性质优异,适用于多种高端、微间距器件,引线数量更高、焊垫尺寸更小。
铜焊线(1.3-4mil):
铜焊线,不仅具有铜焊线显著的成本优势,而且降低了铜焊点中的金属间生长速度,这样就为大功率分立封装带来了超一流的可靠性。
铜焊线的成本优势:
由于铜的成本相对较低,因此人们更愿意以铜作为替代连接材料。对于1mil焊线,成本最高可降低75%*,2mil可达90%*,具体则取决于市场状况。
铜焊线的优异性能:
铜线的导热导电性能显著优于金线和铝线,因此能够以更细的焊线直径达到更好的散热性能及更高的额定功率。与金相比,铜的机械性质更强,这样在模压和封闭过程中可以得到优异的球颈强度和较高的弧线稳
铜焊线的优点(与金焊线相比):
材料成本低 • 降低单位封装成本,提高竞争优势,导电性好
金焊线4.55 10 E7/ Ohm m
铜焊线5.88 10 E7 / Ohm m
在微间距封装中可以采用更细的焊线
• 微间距应用性能优异(焊垫尺寸较小)
• 提高功率调节器件(TO220、TO92、DPAK等等)的电流容量和性能
导热性好
金31.1 kW/m2 K,铜39.5kW/m2 K • 传热效率更高,机械性质高 • 抗拉强度更大、延伸特性更好
• 模压中具有优异的球颈强度和较高的弧线稳定性
金属间(IMC)生长速度慢 • 提高机械稳定性、降低电阻增加量
• IMC生长较为温和,从而提高了键合强度,降低金属间生长速度,提高可靠性
与金线焊点相比,铜线焊点中的金属间生长速度显著减小。这就
降低了电阻、减小了产热,并最终提高了焊接可靠性和器件性能。由于铜线中的金属间生长
速度、电阻和产热均低于金线,故而电阻随时间的增加量和老化速度同时得到减小。
铜线在焊接后能够形成比金线更稳定、刚性更好的弧形能够适应更长的弧度(最长弧度7mm)铜焊线典型尺寸及标准机械规格:直径 um 20 25 28 30 38 50 65 75
密耳 0.8 1.0 1.1 1.2 1.5 2.0 2.5 3.0
延伸率(%) 8-16 8-16 10-20 10-20 10-20 15-25 15-25 15-30
断裂荷载(g) 5-10 8-15 10-20 12-22 20-30 40-55 60-80 80-120
铜焊线的包装与存放
铜具有较强的亲氧性,因此必须对铜焊线进行保护以延长其保存
期。为此各卷铜焊线均采用吸塑包装,并在塑料袋内单独密封
除了以上优点为,铜线还有以下特性:
1.铜线易氧化,原则上拆封的铜线48小时用完。
2.铜线硬度高,容易产生弹坑、不粘、断丝、、烧球不良
三、铜线和金线在键合工艺参数的区别
1.EG-60 铜线压焊工艺参数与金线相比较最大的变化是加大了
contact
force,以增加产品的可焊性,为了减小弹坑风险,一般情况下
1mil以下铜线采用LOW-Power模式,而1.2mil以上一般采用High-power模式
Set up machine
Set up machine(改为铜线方式)
Ø F16(2009) 1090ABBB bond sequence
[normal
(gold wire)->copper
u F16 Tail control (减少tail too short 报
警)
Ø F16 1090ABB40
l Menu 1 12-16
l Menu 9 20
l Menu A 8
u F15 bond process control(减少 NSOP NSOL)
Ø F15 (2002)10803
l Menu 0 比gold wire 要 大一些
l Menu 3 0
l Menu 4 比bond force 稍小
Set up machine
u Search high ( 减少 NSOP & tail too short)
Ø Gold wire : 8-12
Ø copper wire : 10-15
Ø EFO parameter
l Wire size (mil) 0.8 1.0
1.5 2.0
l Current (mA) 5000-7000 12000-15000
l time (us) 500-800 1200-1800
Set up machine
Ø BQM set up
l Wire size (mil) 0.8-1.2
1.5-2.0
l Rise time 1-2
2-3
l Power level low high
l Power control const-p const- p
Ø Speed set
l F15 比gold wire 稍低. 512-640 384-512
Set up machine
u Set up machine
Ø To Copper Wire
l 1 Higher EFO current for Cu
l 2 Shorter EFO time for Cu
l 3 In general, higher force & power
l 4 Longer Time factor
l 5 Higher WC force due to Cu hardness
l 6 Less
the
ball during the contact stage then apply more base power
Production issue
Ball
Tail length
Capillary
Action:
force)保证tail
length
l
Production issue
u 1st
Ø NSOP
l Bond power
l Bond force
Ø Action:
l
force
Production issue
u 2nd Contact Power, use force to deform 球不良原因: 吹气保护不好 铜线开封后防止时间太长.线有氧化(72小不稳定导致烧球不好 选择型号不对 调整吹气装置和E-TORCE位置,保证保护良好 更换铜线 调整2nd 焊接参数(base power and base 稳定. 选用合适的capillary 原因: 太小 太大 在保证无crater 的前提下.调整 power and
Ø NSOL 原因:
l Bond power 太小或者太大
l Bond force 太大或者太小
Ø Action:
l 如果焊接后无留金痕迹应该调大 base power l 如果焊接后有明显压断痕迹,应该调小 base power and force
Production issue
u 2nd 后
Ø tail too short 原因:
l 管脚位置浮动.
l Bond power 太小或者太大
l Bond force 太大或者太小
Ø Action:
l 调整该焊点位置
l 如果报警后可以直接从capillary 穿下线,应该是base power
较小,应该调大base power 或者减小base force
l 如果报警后线不能直接穿下capillary,必须把线拔除再穿的话,应该减小base power
或者增大base force.
四、铜线对生产效率和产品质量的影响
1、产能相对较低---铜线硬度要强于金线,压焊过程中断丝几率和不粘相对增大,考虑到可焊性等因素,压焊速度相对较慢,正常情况下设备利用率是金线设备的2/3左右。
2、偏心球、烧球不良(高尔夫球)产生较多----铜线2nd焊点切线稍有异常,将直接影响1st焊点烧球,气体保护范围太小或框架、夹具异常均会影响1st焊点烧球,所以在出现以上现象是,首先应排除硬件原因,然后再从参数方面解决。
3、不粘产生频繁----由于铜线的特殊性,键合过程中不粘现象较为严重,在铜线键合过程中出现不粘,应从以下方面解决:
A、要保证拆封的铜线无氧化,沾污,拆封的铜线要在48小时内用完。
B、夹具表面平整光滑,载体无松动
C、保证烧球的时候,氧化保护良好
D、切线正常,无偏心球
E、装片平整度,胶量充足(胶量不足缺胶直接影响不粘,1.2mil以上铜线最为明显),固化温度均匀;
F、劈刀选用合理
G、参数调整
4、弹坑风险增加---由于铜线硬度要强于金线,且容易产生氧化,弹坑几率风险大大增
加。为了减小铜线弹坑风险,需从以下方面解决:
A、配备专人每班做例行弹坑验证,包括更换品种,夹具及设备维修后。
B、加强过程监控---更换劈刀、修改1st、EFO参数后必须作弹坑试验;
C、对一些硬件如气嘴、流量(保护气体),夹具,压缩空气等每班最少做一次检查,同时提醒作业员随时检查。
D、及时和客户沟
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